砂輪片切割的固化樹脂法

        砂輪片可以讓切割片得到很好的保型性，一般采用熱固性酚醛樹脂作為結(jié)合劑，將金剛石磨粒與樹脂混合，然后用熱壓法燒結(jié)，熱固化后再進行研磨加工，這種工序需要好幾個小時，因此生產(chǎn)成本比較高。

        隨著生產(chǎn)技術(shù)的進步，熱固化樹脂逐漸被光固化樹脂所替代。光交聯(lián)性聚合物，引發(fā)劑以及添加劑組成。它和熱固化樹脂較本質(zhì)的區(qū)別在于其固化的過程是靠吸收相應(yīng)波長的光輻射而引起的化學(xué)反應(yīng)，使光固化樹脂從液體轉(zhuǎn)變?yōu)楣腆w。它從液體轉(zhuǎn)變?yōu)楣腆w是分子量增加的結(jié)果,而不是溶劑揮發(fā)所造成的,故具有快速固化、無污染、節(jié)省能源的優(yōu)點,但制約因素是其原材料價格較高。

        砂輪片運用光固化樹脂法制造超薄切割片方面,我國利用光固化樹脂作為結(jié)合劑研制成功厚度為0.15mm的超薄型金剛石切割砂輪,并成功地完成了對單晶硅片的切割試驗。